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半导体无尘车间工程

半导体无尘车间工程

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      无尘车间工程根据洁净度不同可以分为100级、1000级、10000级和100000级等。而半导体电子洁净车间的洁净度要求按照每一立方米空气中含有的0.5微米尘粒数计算,一般是在10万级标准以上。半导体电子无尘室工程中,想要控制小粒径粉尘的扩散,就需要用到过滤器。一般而言,无尘车间的运行中风速越低,过滤器的使用效果越好。



     

在无尘车间工程中,风速越低小粒径粉尘的扩散作用就明显,这主要是因为洁净车间中风速越低,气流在过滤材料中所需要滞留的时间就会越长,粉尘对周边障碍物的撞击越明显,过滤效率自然也就就高。在大多数情况下,如果无尘车间工程使用的是高效过滤器,风速一旦减少一半,粉尘的透过率会降低近一个数量级,风速增加一倍,透过率会增加一个数量级。小粒径粉尘的扩散中,风速高,阻力就大,如果过滤器的使用寿命以终阻力为依据,风速高,过滤器的使用寿命就短。

半导体电子无尘车间工程中,与小粒径粉尘的扩散的效果类似,如果过滤材料带静电,粉尘在滤材中滞留的时间越长,被材料吸附的可能性就越大。当半导体电子洁净车间的风速发生改变时,带静电材料的过滤效果就会得到明显的改变。所以在进行无尘室工程设计时,如果材料上有静电,在进行空调系统设计时就要尽可能地减少通过每只过滤器的风量。对于以惯性机理为主的大颗粒粉尘,根据传统理论,风速降低后,粉尘与纤维碰撞的几率会减少,过滤效率会随之降低。但在实践中这种影响并不明显,因为风速小了,纤维对粉尘的反弹力也小了,粉尘更容易被粘住。


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